MMEMS关节扭矩传感器全球首家自研并量产应用于机器人关节的MEMS扭矩传感器,灵敏度较应变片高10倍,力控精度≤0.3N·m。机器人零部件机器人关节机器人力控MEMS扭矩传感机器人关节高灵敏度力控精度